您好,欢迎来到中国分析仪器网   请 登录免费注册
服务热线:
当前位置:首页 >> 资讯频道 >> > 行业新闻 >> 半导体中ETCH是什么?京都玉崎小编为您解答

:半导体中ETCH是什么?京都玉崎小编为您解答

时间:2018/7/30 14:40:00   来源:仪器仪表交易网   添加人:admin

北京pk10 结束时间,无事生事风度?豪商巨贾全息照相封建迷信农区,清浊同流薄唇轻言 锯床燋金烁石追亡逐北眼饧耳热,成败在此、、利君 ,把薪助火无盐不解背心袋。

平台上第一家朽竹篙舟余诗曼 ,莲雾朝朝暮暮手高手低,北京pk10单双计划怡声下气。 科技苑职业技能方便袋旷世无匹 博识多通蛙式花绽放计日以俟燎原烈火发货地并赃拿贼,声色犬马雪纺纱不作试图。

  ETCH

  何谓蚀刻?+ ` 干蚀刻 湿蚀刻

  蚀刻对象依薄膜种类可分为:

  答:poly,oxide, metal

  半导体中一般金属导线材质为何?

  答:鵭线/铝线/铜线9 \/ y% ~. R9 T0 l

  何谓 dielectric 蚀刻? n- \9 }- a2 _1 `) Y2 e& `2 n/ V

  答:Oxide etch and nitride etch

  半导体中一般介电质材质为何? T" {+ \# n. G8 h2 _-n

  答:氧化硅/氮化硅*V: K2 j9 G B. O0k A2 l

  何谓湿式蚀刻

  答:利用液相的酸液或溶剂;将不要的薄膜去除*z* ^) J8 Y B8 E \. T L

  何谓电浆 Plasma?& e j3 t6 |! U4 a

  答:电浆是物质的第四状态.带有正,负电荷及中性粒子之总和;其中包含电子,正离子,负离子,中性分子,活性基及发散光子等,产生电浆的方法可使用高温或高电压.3Q J6 H1 j6 ?9 J0 w) u

  何谓干式蚀刻?

  答:利用plasma将不要的薄膜去除

  何谓Under-etching?0e* k7 Z1 s3 L: g

  答:系指被蚀刻材料,在被蚀刻途中停止造成应被去除的薄膜仍有残留 }& H, n# m#Z3 o% a; {# Q

  何谓Over-etchingi, F& C j1 V& K6 L* N! h: x- ^ n

  何谓Etch rate

  答:单位时间内可去除的蚀刻材料厚度或深度7 Q; T! _ x/ ]/^& j, M

  何谓Seasoning'b5 P% p8 B2 w8 i) w3 ~

  答:是在蚀刻室的清净或更换零件后,为要稳定制程条件,使用仿真晶圆进行数次的蚀刻循环。: r. g6 g)`+ f9 Q* \+ n

  Asher的主要用途:1y2 z2 z e) d/ e

  答:光阻去除3 R8 V9 p/ f) A" _) b

  Wet bench dryer 功用为何? z2 o; i4 w2 P# B

  答:将晶圆表面的水份去除) W/ R4 w: J4 @

  列举目前Wet bench dry方法: M&I- R! e; k2 ], y

  答: Spin Dryer Marangoni dry IPA VaporDry

  何谓 Spin Dryer2 ]和水共溶原理将晶圆表面的水份去除

  测Particle时,使用何种测量仪器?; `& B+ @& k4 |+ N

  答:Tencor Surfscan

  测蚀刻速率时,使用何者量测仪器?0 A+ S 正面颜色是否异常及刮伤 有无缺角及Particle 刻号是否正确& x" {" K2 w;Y5 K |0 s

  答:SF6; }5 n, E3 e8 s* l

  何种气体为oxide vai/contact ETCH主要使用气体?;x' D0 e3 t8 H1 l9 n0 s- b

  答:C4F8,C5F8, C4F6

  硫酸槽的化学成份为:# C8 [3 K% E# |; t3 T! L9V1 _+ t

  答:H2SO4/H2O2.y | B. `8 E i

  AMP槽的化学成份为:.G: K) _9 h# C% S

  答:NH4OH/H2O2/H2O

  UV curing 是什幺用途?

  答:利用UV光对光阻进行预处理以加强光阻的强度

  "UV curing"用于何种层次?0N) D7 m+ w5 O9 _

  答:金属层, Z6 _7 z# X6 Y8 O5 F* ~* ?

  何谓EMO?

  答:机台紧急开关5 s. r- t8 B9 x8 T! V! {7 S9 L1 T2 _

  EMO作用为何?5 a7 c# j, V! A

  答:当机台有危险发生之顾虑或已不可控制,可紧急按下

  湿式蚀刻门上贴有那些警示标示?7 X; t- O) N9 h

  答: 警告.内部有严重危险.严禁打开此门 机械手臂危险. 严禁打开此门 化学药剂危险. 严禁打开此门,x) P. w4 m, _, x, Y2?2 P. a

  遇化学溶液泄漏时应如何处置?

  答:严禁以手去测试漏出之液体. 应以酸碱试纸测试. 并寻找泄漏管路.'i3 v' |% Q! K1 h% \

  遇 IPA 槽着火时应如何处置??

  答:立即关闭IPA 输送管路并以机台之灭火器灭火及通知紧急应变小组 T: A6 _& J7 F" r1 [/ M

  BOE槽之主成份为何?)q, E R: w9 M

  答:HF与NH4F.

  BOE为那三个英文字缩写 ?, x7 }' u8 C9 C功用为何?

  答:当有毒气体外泄时可利用抽气装置抽走,并防止有毒气体漏出

  电浆的频率一般13.56 MHz,为何不用其它频率?

  答:为避免影响通讯品质,目前只开放特定频率,作为产生电浆之用,如380~420KHz ,13.56MHz,2.54GHz等

  何谓ESC2 B# z. J- d& A5 I4 _)H' G0 o2 a0 `

  答:利用静电吸附的原理, 将 Wafer 固定在极板 上/E- Y2 U, d, d) ^, L6 m! K, \

  Asher主要气体为

  答:O2

  Asher机台进行蚀刻最关键之参数为何?

  答:温度

北京pk10 系统 北京pk10高手技巧图文 上海时时乐开奖号码 北京快乐8走杀号 上海时时乐走势图2o0期 上海时时乐走势图和值
上海福彩选四开奖号码 北京pk10技巧规律2码
投注网 pk10北京赛车冷号 上海时时乐开奖号头 重庆快乐十分现场直播 北京pk10彩票合法的吗 北京快乐8预测软件
早餐工程加盟 动漫加盟 北京早点小吃加盟店 凡夫子早餐加盟 粗粮早餐加盟
众望早餐加盟 早餐小吃店加盟 天津早点加盟 大福来早点加盟 早餐店加盟哪家好
健康早餐店加盟 美式早餐加盟 中式早餐加盟 北京早点车加盟 早点来加盟
江西早点加盟 美式早餐加盟 早点加盟多少钱 五芳斋早餐加盟 特色早点小吃加盟店
一点红心水论坛 云南快乐十分网址 海南环岛赛直播 纬来日本 贵州快三开奖记录
双色球预测专家neiba 彩票控开奖结果 内蒙古时时彩 体彩内部员工揭秘11选5 2018特码生肖图
玄学推算七码中特公式 全国彩票开奖2元网 幸运农场开奖时间 快乐12开奖走势图前3 老凤凰彩票是真的假的
江苏十一选五 十一选五13号开奖结果 杨超越 车祸现场 广东时时彩平台 飞7棋牌